真空安定性測試儀傳感器測壓線性檢驗(yàn)

真空安定性測試儀傳感器測壓線性檢驗(yàn)步驟如下：

使系統(tǒng)處在真空狀態(tài)下，關(guān)上二通閥（“19”），開啟放氣閥（“16”），讓空氣進(jìn)入真空泵，關(guān)斷真空泵開關(guān)（“2”）。

微微開啟二通閥，讓少許空氣進(jìn)入真空系統(tǒng)后，即關(guān)閉該閥，觀察真空表指針?biāo)缸x數(shù)和大氣壓的差值與測壓表上讀數(shù)是否一致。

重復(fù)該過程，使真空表指針停在不同位置上，并觀察其讀數(shù)和大氣壓的差值是否與測壓表上讀數(shù)一致，若兩者之間相差不大于±0.2KPa，則傳感器測壓線性良好。

檢驗(yàn)完畢，真空系統(tǒng)放入大氣，關(guān)斷測壓表電源。

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